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检测玻璃基板上的对准标记|定位晶圆片的定向平面

时间:2020-09-07 15:14 点击次数:
 

  检测玻璃基板上的对准标记


  检测玻璃基板上的对准标记以执行定位。图像处理系统通常用于对齐和定位,但校准需要大量的人工 ,有时由于准确度低而产生缺陷产品。

  RG-X/RV-X系列提供自动校准以自动完成校准.利用模式搜索来检测对齐标志的位置,然后自动定位舞台。这使高速和准确的对准调整,以提高成本。

  定位晶圆片的定向平面


  设置晶圆的定向平面的位置。按照惯例,采用专用系统对角度。它消耗了大量的劳动力,是由于失调而降低产量的一个重要因素。

  利用图像处理系统测量平面的位置,计算倾角,调整角度,可以防止屈服率的降低。

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